Before (改善前)

ケーブル引き込み口からの浸水による故障

半導体製造装置内を適切に保つ為、装置内には様々な機器があります。その中でも冷却薬液を使用する機器からの薬液漏れを感知する為のセンサー等がありますが、万が一薬液が漏れてしまった際にはその下に位置する機器、電気部品に薬液がかかってしまう事により二次災害が起きてしまいます。端子台や防水がなされていない電気部品に薬液が侵入すると、隣合う端子同士が意図しない通電が起きてしまい、ショート故障の原因となります。

V

After (改善後)

「SCロック」を利用した二次災害を防ぐ事前対策

薬液が侵入してしまう可能性のある装置内に位置した機器のケーブル引き込み口に「SCロック」を使用します。「SCロック」とは「IP67」という電子機器に対して高い防水性、防塵性を持った構造の為、高い密閉効果が得られることができます。「SCロック」を使用することにより、引き込み口の金属部品のエッジ部分からケーブルの断線を保護するとともに、電子機器に対して万が一のトラブル時にも被害を最小限に止めることができます。

POINT(要約)

電気的、機械的、環境的、人為的要因等、様々な原因から予期せぬトラブルが発生してしまうことは一定の割合で起こっています。最も大切なことは、事故やトラブルを未然に防ぐことですが、起きてしまった後に被害を最小限に抑える対策を事前にしておくことが装置の早期復旧に繋がる有効な手段となります。