東京都大田区で半導体製造装置の制御盤を制作している大迫電気のSです。
弊社のホームページが、立ち上がって以来、制御盤の設計や製作、又配線更に、マグネットスイッチやソリッドステートリレー(SSR)、コンタクタや様々なセンサー、パワーサプライ等電源について呟いてきました。
今回は、ノイズフィルタについて少しばかり呟いてみたいと思います。
半導体製造装置を制御するということは、多くのICやマイコンを搭載した巨大で複雑な電子機器を制御し稼働させることになります。
ということは、自ずとノイズの影響を受ける機器がたくさんあるということになり、そのノイズ対策が他の様々な機器を制御する制御盤と比較しても必要不可欠になってきます。
ノイズは電源線や電子回路の配線を介して他の機器に妨害を与える伝導性ノイズと電子機器の内部から直接放射され機器に妨害を与える輻射ノイズの2種類に分けられます。
電子機器で問題となるノイズは高周波成分が主な要因ですので、これらのノイズを除去するためにローパスフィルタを使用します。
これは、周波数の低い信号を通過させて周波数の高い信号を通さないものです。
ローパスフィルタの働きを持つ回路素子として、コイルとコンデンサがあります。
コイルは、周波数の高い成分にはインピーダンスが高くなり、低い成分にはインピーダンスが低くなります。
その結果、コイルをノイズの通り道に直列に並べると周波数の高いノイズ成分は通りにくくなります。
もう一つのコンデンサは、コイルとは逆の性質を持っているため、この二つの回路素子を組み合わせることにより性能の高いローパスフィルタを構成する事が可能です。
ノイズの問題は、制御盤製作において、常に大きな課題となってきています。
次回も、更に、ノイズフィルタ等について呟いてみたいと思います。
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