半導体製造装置では、装置内を常に一定の温度に保つ様に制御しなければなりません。微細な半導体素子を製造していくうえで、温度の変動幅が大きいことは、致命的な要因となります。その為、送風機を制御する上で、インバーターを使用し、効率的な制御をしています。

例えば、送風機制御方式の吐出し側のダンパー制御、吸込み側ダンパー制御、伝播動力可変制御において、インバーター制御を用いることにより所要動力を理想的な形に制御でき、省エネ化を実現できます。又、インバーター内臓機能を利用することにより、外部のコントローラーが不要となり、コンパクト化やコストダウンを図ることが出来ます。

執筆　大迫電気　S