半導体製造装置の制御盤製作において、常に付きまとう問題の一つとして、ノイズ問題があります。ノイズといっても一つではなく、電流の変化（磁界の変化）によって受けるノイズの静電誘導ノイズの2つがあります。制御盤内及び装置内に、電線を配線し引き回していく際、何の対策も施さなければ、信号機や様々な電子部品がノイズの影響を受けてしまいます。では先ず、信号電線をノイズの影響から守るためにはどのような対策があるのでしょうか。一つ目は、ツイスト線です。2本線をツイストする事で誘導のいずを小さくすることが出来ます。ところがツイスト線だけでは、静電ノイズについてはかなりの影響を受けてしまいます。そこで誘導ノイズのいずれの影響も最小限にする為には、このツイスト線をシールド線で覆ったものを使用します。これにより誘導ノイズ、静電ノイズの影響を最小限に抑えることが出来るのです。

執筆　大迫電気　Ｓ