半導体製造装置や半導体製造装置制御盤の製作で課題になっているのは、「ノイズ対策」です。信号系統の線に乗ってしまう「ノイズ」に対しての一番の解決策は、信号線を「光ファイバーケーブル」にする事です。「光ファイバーケーブル」の特徴は、外部からの「ノイズ」の影響をまったく受けないことです。特に長距離間の信号線引き回し時には、大差が出ます。信号系統を「電線」で送る場合、「電線」の長さに比例して「ノイズ」の影響は大きくなります。信号系統を「光ファイバーケーブル」にすることが理想ですが、現実的にはスペースの問題やコスト的に厳しいと思います。「光ファイバーケーブル」を使えるところは使い、使えない場所では電線で対応し。「フェライトコア」や「シールドチューブ」等で「ノイズ対策」するのが良いでしょう。

執筆 大迫電気 I