近年当社で扱っております半導体製造装置は、今まで以上に細かな温度調整がひつようになってきております。1000/1℃単位での温度調整をするには、様々な物から発生する「ノイズ」が邪魔をします。「ノイズ」の種類は大きく分けて、「伝道ノイズ」と「放射ノイズ」に分けられます。例えば、「伝道ノイズ」の中に「電磁系ノイズ」があり、その中に「サージノイズ」があります。「サージノイズ」を消すためには、「サージキラー」や「サージアブソーバー」等の部品を使用し、「サージノイズ」を減少させることが可能になります。このように、「ノイズ」の種類によって、正しい「ノイズ対策部品」の選定を行うことが重要です。

執筆　大迫電気　Ｉ