半導体製造装置制御盤のノイズ対策はノイズフィルターを用いた方法が一般的です。しかし、更にノイズを除去しようとすると、ケーブル一本からの対策が必要となります。ケーブル一本から出来るノイズ対策としてはシールド線を使用したりツイスト線を用いた方法です。ツイスト線に関しましては、線を撚れば撚るほどシールド効果が上がり、電磁ノイズに対して強くなります。例えば撚り線のピッチを4インチ間隔から1インチ間隔にすると約10倍シールド効果が高まります。またケーブルに光ケーブルを組み込んだり、不均等な回路を平均回路に見直すことで更なるノイズ低減効果が期待できます。

執筆　大迫電気　Ｓ