半導体製造装置 制御盤の設計・製作時のポイント

電線の許容電流

電線の導体サイズと許容電流値の早見表 （※ NFPA79_2002より抜粋）

『表1』
許容電流値（周囲温度30℃の場合）
3-1-5-1

『表２』
周囲温度による補正系数
周囲温度（℃） 補修係数
3-1-5-2
『表３』
束線の本数と許容電流の低減率
3-1-5-3


許容電流値の求め方
〔許容電流値〕＝〔『表１』：許容電流値〕×〔『表２』：補正系数〕×〔『表３』：低減率〕
 
①　『表１』より、導体サイズによる許容電流値（※１）を求めることができます。
②　周囲温度により『表２』の補正係数を乗じます。
③　電線を、３本を超えて束線する場合（※２）は、『表３』に示す低減率を乗じます。  

※１：ＮＦＰＡ７９規格では、７５℃を超える許容電流表が無いため、
定格７５℃を超えるＰＶＣ、テフロン電線等の場合も、７５℃定格の表に準じます。
※２：電線の束線本数に数える対象は、電源・信号等の（ＧＮＤ）も含めて全てです。
なお、ＦＧ線は本数に含めません。
※ダイナミックシリーズのコネクタは、バリエーションが豊富で様々な用途で使用する事ができ、
コンタクトの種類も多く幅広いサイズの電線に対応出来ます。
また、挿抜耐久性に優れているため、非常に扱いやすい部材です。

コンタクト型番一覧

3-1-5-4_D-1h 3-1-5-4_D-1

Ｄ１タイプは、主に信号系に用いられている事が多くコンタクト・ハウジング共に軽量・小型化でコンタクトの適用サイズが４種類（S･M･L･2L)と豊富で電線の絶縁被覆外径の範囲が広いため、選択し易いです。
詳細は、上記の一覧表をご参照下さい。

3-1-5-4_D-2

Ｄ２タイプは、長い有効篏合長を持つ独自のコンタクト理論で、高い接触信頼性コネクタです。信号ラインに要求される基板への高密度実装時、狭いピッチで占領面積を最小限にセンターロック方式のコネクタも選定できます。
詳細は、上記の一覧表をご参照下さい。

3-1-5-4_D-4

Ｄ３タイプは、主に信号～電源まで用いられていてコンタクトでは2点の特徴があります。
１、コンタクトの適用サイズが５種類と豊富
（Ｓ・Ｍ・Ｌ・２Ｌ・３Ｌ）２、コンタクトには、標準接点・高圧接点の使用目的
に応じて２通りあります。詳細は、上記の一覧表をご参照下さい。

3-1-5-4_D-5

Ｄ５タイプは主に電源部に用いられる事が多くコンタクトでの適用電線が、８AWG～１６AWGまでと範囲が広い事とコンタクト・ハウジング共に耐久性にも優れている。
詳細は、上記の一覧表をご参照下さい。

線材適用コンタクト一覧

3-1-5-5

※　半導体製造装置制御盤は、クリーンルームで使用する装置です。
クリーンルームは空気中の浮遊塵埃が定義されたクラス以下に管理してある
部屋なので、制御盤内もクリーンな状態で設置する必要があります。

クリーンルームの規格・クラスとは！

クリーンルーム関連で用いられる規格・クラスとは、一定範囲内における粉塵量の定義です。

空気中に浮遊する事が出来る小さなホコリ等の粒子や微生物の数量は、設定されているクラスに応じて下の表の様に決められています。

3-1-5-6