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半導体製造装置の静電ノイズ対策

公開日：2013年8月19日 半導体電気設計者のつぶやき集

半導体製造装置の制御盤製作において、常に付きまとう問題の一つとして、ノイズ問題があります。ノイズといっても一つではなく、電流の変化（磁界の変化）によって受けるノイズの静電誘導ノイズの2つがあります。制御盤内及び装置内に、 …