半導体製造装置 制御盤にトラブル事例

半導体製造装置 制御盤のよくあるトラブルの原因

　半導体製造装置制御盤に起きるトラブルとして、ここでは半導体製造装置制御盤を製作する上で起きる、俗にポカミスと言われる事例を紹介いたします。ほとんどは幾重にも渡るチェック体制によって納品までに解決出来るはずの問題ですが、ユーザーにて発覚した場合、製造業としての品位を問われる恥ずかしい事例です。器機の型式間違えによるトラブル、配線トラブル、器機接続時の締め付けトラブル、コンタクトピン圧着不良によるトラブル、機器の破損によるトラブルが発生する可能性が考えられます。発生した際には、早急に不具合対応（修正)を行い、弊社で不具合についての要因追究を行い、今後の再発防止対策を立上げ、定期的に品質会議を実施し品質向上に努める活動を行っています。

半導体製造装置 制御盤にトラブル事例 一覧

　【器機の型式間違えによるトラブルについて】 器機の型式の間違えによるトラブルは、型式（類似品）による見間違えや思い込みによる取付間違えが主に発生。それに対して組立工程前に組立による見間違えて取付てしまう要素等が隠れていないかを打ち合わせを行い、その中で注意点がある場合は、図面上にコメントを記入し組立最終チェックでは、品質チェックシートの項目に合わせてチェックする事により器機の型式間違えトラブルを回避します。 【配線・実装によるトラブルについて】 主に誤配線・振動による断線トラブルが発生する事がある。そのため、誤配線防止対策として、制御盤配線工程後の導通検査では、品質チェックシートを作成し項目に沿ってチェックをしていく事により、品質保証をしています。振動トラブルは、制御盤装置を始動する事により、装置内でポンプ等の振動が発生し電線が擦れて断線の恐れがあるため、電線保護チューブ(ホックチューブ)等を使用する事や可動する電線を結束固定具に固定する事で、振動による断線トラブルを回避出来ます。 【器機接続時の締め付けトラブルについて】 電線を器機に接続する際、増し締めが作業者により締付ける力にバラつきが生じるため、接続ビスの緩みが生じ、接触不良や火災を招くトラブルが発生する可能性があります。そのため、接続ビスの締め付けトルク数値（メーカー推奨）によって締め付ける事により、バラつきを無くし品質保証的な問題も解決出来ます。 【コンタクトの圧着不良トラブルについて】 主に、コンタクトと圧着工具の選定ミス.圧着ポイント（圧着挿入箇所）ミス.電線（規格）とコンタクトの選定ミスにより、コンタクトが折れる・切れる・抜ける等が起きる断線トラブルが発生する事があります。圧着不良を 発生させないために作業製作標準書を作成しそれを基に作業者に教育を行う事により、圧着状態の良否の判別が出来る様になります。ケーブルチェッカーによる検査を併せて行う事でトラブルを回避する事が出来ます。 上記のトラブル事例について、代表的な内容を紹介しています。

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